氣體質(zhì)量流量控制器使用注意?
1 加裝過(guò)濾器
使用氣體必須純凈干燥,切忌粉塵、液體和油污。必要時(shí)加裝過(guò)濾器,如果流量計出口接有液體源瓶,應在流量計出口加裝單向閥,防止液體回流損壞流量計。
2 使用腐蝕性氣體
流量計通道采用的材料為:SUS316L(00Cr17Ni14Mo2),SUS417J1(00Cr30Mo2), 氟橡膠等耐蝕材料。在用戶(hù)系統無(wú)汽水、低泄露、勤清洗、使用得當的條件下,也可以用于控制一般的腐蝕性氣體。其他使用強腐蝕性氣體和溶劑氣體時(shí),應在定貨時(shí)聲明,使用特殊腐蝕性氣體,所有密封材料都要作相應改變。
3 安裝位置問(wèn)題
本控制器安裝時(shí)建議保持安裝面水平,但對位置并不特別敏感,可以任意位置安裝,非水平位置安裝時(shí)若發(fā)現零點(diǎn)偏移,可以調整零點(diǎn)后在工作。
4 閥口密封問(wèn)題
質(zhì)量流量控制器的電磁閥是調節閥, 不是截止閥, 不能當截止閥使用, 用戶(hù)應另配截止閥。特別是用戶(hù)使用腐蝕性氣體,通常應該在質(zhì)量流量控制器進(jìn)出氣口各加一個(gè)截止閥,以保證工作安全。長(cháng)期工作后, 如果控制器閥口的漏氣率在2%F.S以?xún)? 是屬于正常情況。如果漏氣大于滿(mǎn)量程的2%, 則應進(jìn)行維修。
5 標定與不同氣體的換算
本流量質(zhì)量控制器出廠(chǎng)通常用氮氣(N2)標定。如果要求用使用氣體標定,需要在訂貨時(shí)與銷(xiāo)售人員特別申明。用氮氣標定的流量控制器用戶(hù)使用其它氣體時(shí),可以通過(guò)附錄的轉換系數進(jìn)行換算。
如何通過(guò)質(zhì)量流量控制器判斷沒(méi)有氣體通過(guò)?
質(zhì)量流量控制器(MFC)是用來(lái)控制氣體流量的,質(zhì)量流量計(MFM)是用來(lái)測量氣體流量,如果你需要檢測氣體流量需要用MFM。 當然MFC還是有檢測方法的,如果通過(guò)氣體流量比較大,壓比較大,可以為MFC設定一個(gè)大流量,MFC會(huì )反饋一個(gè)值,這個(gè)值就是氣體的流量。 如果流量比較小,壓力比較小MFC就不能測出來(lái)了,因為MFC壓損通常是比較大的,如果氣體流量比較小,壓力比較小就沒(méi)辦法測量了,就需要抵壓損的MFM。
氣體質(zhì)量流量控制器的零點(diǎn)漂移?
微小的零點(diǎn)漂移是不會(huì )影響傳感器的測量精度和數值的,但是如果是零點(diǎn)漂移較大或用戶(hù)在使用時(shí),對零點(diǎn)漂移的數值有疑問(wèn),那么這時(shí)候如何解決漂移顯得非常重要。 熱式氣體質(zhì)量流量控制器和流量計會(huì )有零點(diǎn)漂移情況,零點(diǎn)漂移也就是管道中已經(jīng)沒(méi)有介質(zhì)流動(dòng)但質(zhì)量流量計仍顯示流量值。如果是零點(diǎn)出現大幅漂移,而且每次漂移差別很大,就需要檢查管道內使用有大量的壓力或氣體殘留,需要打開(kāi)各種閥門(mén),全部排空氣體管路,防止設備或管路憋壓。
一般造成質(zhì)量流量計零點(diǎn)漂移的因素有許多,解決質(zhì)量流量計零漂問(wèn)題,首先要定期進(jìn)行零點(diǎn)檢查和調整,二是需要和工藝配合來(lái)解決。一般情況下,管道壓力變化造成介質(zhì)微量流動(dòng)也會(huì )導致質(zhì)量流量控制器/質(zhì)量流量計的零點(diǎn)漂移,出現這種漂移時(shí),要關(guān)閉流量控制器或流量計前段的電磁閥(流量控制器不能當做截止閥來(lái)使用),使管道內處于完全零流狀態(tài)或在管道適當位置設置排氣口,消除管道內的壓力和氣流,從而達到消除零點(diǎn)漂移。